POLOS® SPIN150X 基材旋涂機(jī) PTFE 高級版

POLOS® SPIN150x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機(jī)，由PTFE制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。

可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)臺(tái)式（Table top）和嵌入式（In-deck）版本，用于手動(dòng)或自動(dòng)（可選）化學(xué)藥劑分配。

適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。

POLOS® SPIN150X 基材旋涂機(jī) PTFE 高級版

腔室規(guī)格:

- 最大支持6英寸（150毫米）晶圓

- 最大支持4英寸×4英寸（100毫米）基板

- 材質(zhì): PTFE 

硬件規(guī)格:

- 液體過濾器

- 具有特殊的外殼和排水設(shè)計(jì)，可在現(xiàn)場輕松切換臺(tái)式和嵌入式型號(hào).

- 配備中心注射架，用于安裝注射器或分配噴嘴

- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全

-大型（可拆卸）觸摸顯示屏

- USB 端口，用于在 USB 驅(qū)動(dòng)器上存儲(chǔ)配方和進(jìn)行軟件更新

- 8 I/O 端口

-能夠定義電機(jī)歸零位置，便于在機(jī)器人控制/自動(dòng)化環(huán)境中進(jìn)行集成

-通過集成步進(jìn)電機(jī)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)開蓋和關(guān)蓋.

驅(qū)動(dòng)單元規(guī)格:  

- 采用間接無刷驅(qū)動(dòng)單元

- 最高轉(zhuǎn)速可達(dá)12,000 RPM（取決于基板/卡盤）

- 具有高加速度和高精度

- 加/減速范圍為1-30,000 RPM 

- CW、CCW旋轉(zhuǎn)和Puddle選項(xiàng)

隨附旋涂儀卡盤和適配器

- 隨附1個(gè)A-V36-S45-PTFE-HD真空卡盤.

- 隨附1個(gè)D-V10-S50-PTFE-HD碎片適配器.

- 由FCA SPS-Europe, The Netherlands提供